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光學相控陣芯片
成果領域: 微電子
推廣方式: 技術許可,技術合作,其他
成果鑒定時間:0000-00-00
成果介紹
光學相控陣芯片能夠控制光束空間掃描,在激光雷達、三維掃描、三維成像、激光測距等領域具有重要應用。本成果是一種硅和氮化硅混合光波導的,大角度掃描、窄發散角的光學相控陣芯片,集成了光耦合器、分束器、PN結型和熱光型相位調制器、單波導雙光柵單向輻射器等。目前光束發散角0.021度×0.027度,橫向市場掃描角度可以達到140度,縱向通過調節波長,可以達到19度,點點切換時間30微秒,平均功耗小于1微瓦。
成果應用案例介紹
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電話/微信: 13822630888
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