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大尺寸電子級磁控硅單晶爐裝備
成果領域: 智能裝備
推廣方式: 整體轉讓(技術買斷),技術許可,合作開發,技術入股(股權合作)
成果歸屬企業: 西安理工大學
成果鑒定時間:
成果介紹
本項目研制了我國首臺極大規模集成電路用300mm?硅單晶爐并形成系列產品,打破了國外產品的壟斷和技術封鎖,整體性能達到國際先進水平,在非對稱CUSP?磁場設計與裝置、激光液位檢測方法與裝置等方面處于國際領先水平。 項目獲授權發明專利13?件,美國發明專利2項,制定了我國首部單晶爐技術標準。核心技術和系列產品已在相關行業推廣使用并出口美國、韓國等企業,新增產值24.64?億元,新增利潤4.65?億元,取得了顯著的社會、經濟效益。2012年,獲得國家技術發明二等獎。
成果應用案例介紹
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電話/微信: 13822630888
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