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大尺寸電子級硅單晶爐關鍵技術及其應用
成果領域: 新材料
推廣方式: 技術合作
成果鑒定時間:
成果介紹
硅材料來源豐富、電學性能和熱穩定性好,且能在不同的溫度下穩定等特點,已逐漸成為最重要的半導體材料。當今全球每年超過3000億美元的半導體市場中95%以上的半導體器件及95%以上的集成電路都用到了硅。各國硅單晶和硅拋光片的制造水平是該國集成電路產業是否獨立的重要標志。 大尺寸電子級硅單晶爐是利用直拉法生產集成電路用硅單晶的關鍵技術裝備,在集成電路產業鏈中居首要地位。長期以來,電子級硅單晶爐的關鍵技術均由少數國家壟斷,成為制約我國集成電路產業發展的瓶頸之一,其核心主要體現在技術裝備和生長工藝兩方面。 本項目在國家科技重大專項的的支持下,西安理工大學劉丁教授所領導的團隊自主研發成功國內首臺電子級硅單晶爐,并成功研制出國內第一臺電子級單晶爐用大型勾形磁場,已初步具備小批量產業化能力。研制出的單晶爐已銷售至國內外相關公司,取得的核心技術成果已在多個系列300余臺單晶爐產品中使用。硅單晶生產及其設備產業化將勢必帶動我國集成電路產業的發展,推動我國半導體和集成電路市場邁入全球市場,達到國際先進水平。 據工業和信息化部統計,到2020年,中國可能成為全球最大的集成電路制造基地之一,這將帶動我國半導體設備市場的大幅增長,帶來巨大的經濟效益。
成果應用案例介紹
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